CF₄

(0…1000)μL/L

SF₆

(0…100)μL/L；(0…1000)μL/L

预热时间

＜2min（预热时间）

流    量

（0.2…1）L/min

采样方式

管道式

线性误差

±1%F.S   

响应时间

＜12s(@500mL/min)

重复性（相对标准偏差）

＜1%

检出限

1%F.S 

分辨力

0.1%F.S

长期稳定性（零点）

≤±1%F.S/年  

长期稳定性（量程）

≤±2%F.S/年

温度响应（零点）

≤±0.1%F.S/℃   

温度响应（量程）

≤±0.2%F.S/℃   

工作电流

最大190mA(平均90mA);@5VDC

平均功率

＜0.7W

峰值功率

＜1W

信号输出方式

UART   TTL

工作湿度

(0%…95%)RH(无结露)

储存温度

(-20…60)℃

管道压力补偿范围

(1…200)kPa

NDIR红外气体传感器           IRM

1

测量方式

     管道式（直通）

100

     管道式（折返）

101

2

测量气体

六氟化硫

SF₆

四氟化碳

CF₄

全氟异丁腈

C₄

全氟五碳酮

C₅

非甲烷总烃

HC

3

测量量程

(0…100)μL/L

102

(0…1000)μL/L

103L

(0…200)μL/L

202

(0…2000)μL/L

203

(0…100%)LEL

106

4

电压及信号类型

D5V供电/UART TTL输出

01

DC5供电/RS485

02

5

配置

标配

P1

标配+过滤器

P2

标配+压力补偿

P3

标配+过滤器+压力补偿

P4

示例：HT100-CF₄-103-01/P1 表示该传感器为：管道红外CF₄传感器；量程：(0…1000)μL/L；5VDC供电，UART   TTL数字信号输出，标配版。
  *其他定制气体和量程参照以上选型